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二甲基亚砜中半导体上脉冲电沉积Bi薄膜
二甲基亚砜中半导体上脉冲电沉积Bi薄膜
来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户:srsyzjks
【摘 要】
:
从原有的化学镀铜的工业配方出发,对其用量进行改良,特别是镀液的pH值调试,配体的使用和还原剂的用量,在硅片上沉积出一层光亮而且致密的铜薄膜.结果表明,在二甲基亚砜中硅铜
【作 者】
:
袁定胜
潘文杰
刘冠昆
刘鹏
童叶翔
【机 构】
:
中山大学化学与化学工程学院
【出 处】
:
材料保护
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
化学镀
电沉积
铋
electroless plating
electrodeposition
bismuth
【基金项目】
:
中山大学校科研和教改项目
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从原有的化学镀铜的工业配方出发,对其用量进行改良,特别是镀液的pH值调试,配体的使用和还原剂的用量,在硅片上沉积出一层光亮而且致密的铜薄膜.结果表明,在二甲基亚砜中硅铜基体上的电沉积铋薄膜均匀、致密、粘附力强,XRD测试表明铋以晶体析出.
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