微悬臂梁结构在微硬度试验力校准中的探索应用

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一、引言根据IS014577-1:2002《金属材料硬度和材料参数测量和确认试验%第1部分:试验方法》,硬度按照试验力和压痕深度被分为大硬度、微硬度和纳米硬度。试验力是硬度量值溯源的重要参数,通常试验力的力值通过标准测力仪进行溯源。对于微硬度和纳米硬度,由于其试验力范围的局限性,通常为5μN~1mN(0.05gf~10gf),超出了目前标准测力仪的有效量程范 I. INTRODUCTION According to IS014577-1: 2002 “Measurement and Verification of Metallic Materials’ Hardness and Material Parameters% Part 1: Test Methods”, the hardness is divided into large hardness, microhardness and nanohardness according to the test force and indentation depth. Test force is an important parameter tracing the hardness value, usually the force value of the test force through the standard force gauge for traceability. For the microhardness and nanohardness, due to the limitations of the scope of the test force, usually 5μN ~ 1mN (0.05gf ~ 10gf), beyond the scope of the current standard dynamometer
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