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原位氧化制备氧化锌薄膜及其表征
原位氧化制备氧化锌薄膜及其表征
来源 :复旦学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:pearwj
【摘 要】
:
在云母基底上热蒸镀锌膜,再采用简单的原位氧化方法制备氧化锌薄膜.研究发现氧化锌膜上表面具有纳米尺度的丛生珊瑚状结构,而与云母接触的下表面具有圆饼状结构.
【作 者】
:
金兰
周辉
章琦
徐伟
【机 构】
:
复旦大学材料科学系
【出 处】
:
复旦学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
ZNO薄膜
原位氧化
纳米结构
Zinc oxide film
in situ oxidation
nano-stucture
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在云母基底上热蒸镀锌膜,再采用简单的原位氧化方法制备氧化锌薄膜.研究发现氧化锌膜上表面具有纳米尺度的丛生珊瑚状结构,而与云母接触的下表面具有圆饼状结构.
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