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<正>引言随着微电子工业的迅速发展,对超净高纯试剂的需求量越来越大,其纯度要求也越来越高。超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蚀,它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性
高纯胆碱的制备
【摘 要】
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<正>引言随着微电子工业的迅速发展,对超净高纯试剂的需求量越来越大,其纯度要求也越来越高。超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于
【机 构】
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化学工程联合国家重点实验室（华东理工大学）
【出 处】
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化工学报
【发表日期】
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2008年S1期
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