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焦磷酸质子交换LiNbO3光波导制备技术研究
焦磷酸质子交换LiNbO3光波导制备技术研究
来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wdj702
【摘 要】
:
采用焦磷酸质子交换技术制备LiNbO3光波导,总结了交换条件、退火工艺和波导特性的实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件.测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,采用循环
【作 者】
:
梁东波
唐杰
陈林
袁一方
陈抱雪
【机 构】
:
日本东京农工大学工学院应用化学系日本东京上海理工大学光学与电子信息工程学院
【出 处】
:
光电子技术与信息
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
光波导
质子交换
制备技术
焦磷酸
铌酸锂
LiNbO3 waveguide
proton-exchange
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采用焦磷酸质子交换技术制备LiNbO3光波导,总结了交换条件、退火工艺和波导特性的实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件.测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,采用循环迭代法拟合折射率分布.结果显示退火前后的折射率分别呈近似阶梯和近似指数的分布,均可用费米函数良好地描述.
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