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采用光辅助金属有机物化学气相沉积技术，在LaAIO，（100）单晶衬底上外延制备约500nm厚YBCO／ND·Y2O3／YBCO薄膜。用x射线衍射技术分析薄膜的物相结构和外延特性，通过扫描电子显微镜观察薄膜的表面与截面形貌。主要研究了不同生长时间的Y2O3纳米点对YBCO超导薄膜性能的影响。Y2O3纳米点生长时间为20s样品的临界电流密度达到2．4MA／cm^2（77K，0T），与未生长Y2O3纳米点的YBCO薄膜相比，其临界电流密度提高20％。分析表明，薄膜中的Y2O3在YBCO薄膜内部起到了