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以SDS—3电子束曝光机的聚焦透镜系统为基础，在0．005弧度半张角，3×10^-5的高压纹波，50mm的像距，30×30mm扫描场的条件下，研究了电磁透镜成像的笛卡尔坐标系中的近轴轨迹方程，给出了相应的计算初值条件和实例，讨论了电子束曝光机聚焦透镜系统中的球差、彗差、像散、场曲和畸变等电子光学特性的确定以及系统像质评定的问题。