利于改善填孔电镀空洞问题的激光盲孔研究

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激光盲孔在填孔电镀时最常见的问题是孔内空洞,通常的解决思路是调整填孔电镀制程的药水成分或设备参数。但对样板厂而言,其产品的盲孔形貌多样,填孔电镀制程的变动往往会影响产线的生产效率和加工品质的稳定性,不利于柔性化生产。本文另辟蹊径,从激光盲孔加工的角度出发,通过分析有利于填孔电镀的盲孔孔形,摸索出这类孔形的加工制程。在不改变填孔电镀制程的情况下,降低盲孔填铜产生空洞的风险,提升填孔电镀的良率。
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