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用阴极电沉积法制备高质量ZnO纳米薄膜,电沉积采用含有不同浓度的ZnCl2的非水二甲基亚砜溶液做电解液,室温下恒流沉积,得到纳米ZnO薄膜.研究了ZnCl2浓度对薄膜结构和光学性质的影响.沉积薄膜的ZnO粒径尺寸分别为9.8, 10.4, 14.5nm,随着ZnCl2浓度的增加而增大.薄膜的可见光致发光谱以紫外的自由激子发射为主.研究表明:以浓度为0.03mol/L的ZnCl2电解液制备的ZnO薄膜光学性质最好.