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用离子束辅助沉积法在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面制备了TiC膜,并对其进行了XPS,SEM及SIMS等微观结构分析,测定了氢在有TiC膜的1Cr18Ni9Ti不锈钢中的渗透率。研究结果表明,制备的TiC膜致密性好且均匀,厚度约为15μm;TiC膜中有大量的CH4-负离子存在,在473-773 K范围内,氢的渗透率降低了4-5个数量级。