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研究和总结测量薄膜应力的方法,根据测量薄膜的不同特征量将常用的测量方法分为Stoney公式法、微观测量法等方法。在这些方法中,X射线法、激光干涉法等精确度较高,牛顿环法在实验数据处理和操作上比较简便省时,光栅反射法和拉曼法则比较新颖,最后对各测量方法的优缺点和适用范围进行了总结。
薄膜应力测量方法进展
【摘 要】
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研究和总结测量薄膜应力的方法,根据测量薄膜的不同特征量将常用的测量方法分为Stoney公式法、微观测量法等方法。在这些方法中,X射线法、激光干涉法等精确度较高,牛顿环法在
【机 构】
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南阳理工学院电子与电气工程学院河南南阳473004
【出 处】
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南阳理工学院学报
【发表日期】
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2012年4期
【基金项目】
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上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室项目(ammt2012A-11)
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