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期刊论文
六氟丁二烯的合成工艺分析
六氟丁二烯的合成工艺分析
来源 :有机氟工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:water11
【摘 要】
:
六氟丁二烯是一种温室效应低、蚀刻性能好的新型电子气体,应用前景较好。它的合成工艺多而繁杂,对此进行了梳理,从合成关键中间体的角度进行了归纳,提出了进一步研究的方向。
【作 者】
:
曹伟
【机 构】
:
三明市海斯福化工有限责任公司
【出 处】
:
有机氟工业
【发表日期】
:
2018年4期
【关键词】
:
六氟丁二烯
电子蚀刻气体
合成
三氟氯乙烯
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六氟丁二烯是一种温室效应低、蚀刻性能好的新型电子气体,应用前景较好。它的合成工艺多而繁杂,对此进行了梳理,从合成关键中间体的角度进行了归纳,提出了进一步研究的方向。
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