【摘 要】
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介绍了微机械薄膜变形镜（MMDM）面形影响函数的意义，并测量了Oko公司37通道MMDM的面形影响函数矩阵，实验验证了镜面形变和单个驱动电极电压平方之间的线性关系，分析了变形镜的校正
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介绍了微机械薄膜变形镜（MMDM）面形影响函数的意义，并测量了Oko公司37通道MMDM的面形影响函数矩阵，实验验证了镜面形变和单个驱动电极电压平方之间的线性关系，分析了变形镜的校正能力，建立了自适应光学系统闭环校正的模型。搭建基于MMDM的自适应光学实验系统，采用人眼出射波前作为原始波前进行实验，结果表明，模型能快速有效的对动态畸变波前进行校正，为基于MMDM的自适应光学系统提供了算法支持。
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