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综述了扫描探针显微镜（SPM）的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法，主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便，可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式，但测量精度不高，适用于精度要求不高的场合；动态测量方法适用于任意形状悬臂，校准过程简单快捷，不易损坏悬臂；静态测量法采用外加设备如标准悬臂或者标准加压设备，操作过程麻烦，易损坏悬臂。但动态和静态测量法的精度较高，因此适用于要求提供精确力信号的场合。目前，静态测量法中采用标准弹簧校准的测量精度可达2％～5％，校准过程方便快捷，具有一定的发展