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本文深和地研究了和分析了电容传感器探头形状与外轮廓尺寸检测精度的影响以及被检测件外形给传感器带来的误差。指出必须全面综合考虑电容传感器的工作状况，优化设计电容器传感器的动极板。
电容传感器激光焦点检测误差分析
【摘 要】
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本文深和地研究了和分析了电容传感器探头形状与外轮廓尺寸检测精度的影响以及被检测件外形给传感器带来的误差。指出必须全面综合考虑电容传感器的工作状况，优化设计电容器传
【机 构】
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广东工业大学机电系,华中理工大学机械学院
【出 处】
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工业仪表与自动化装置
【发表日期】
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1998年3期
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