【摘 要】
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压电晶体广泛用作线性传感器,尤其在扫描隧道显微镜(STM)中,X、Y、Z 三个方向均采用压电晶体,但压电晶体的滞后、爬行等非线性会引起表面图像失真。为解决这个问题,日本Niko
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压电晶体广泛用作线性传感器,尤其在扫描隧道显微镜(STM)中,X、Y、Z 三个方向均采用压电晶体,但压电晶体的滞后、爬行等非线性会引起表面图像失真。为解决这个问题,日本Nikon 公司采用串入电容的办法来减小非线性的影响。
Piezoelectric crystals are widely used as linear sensors. Especially in STM, the piezoelectric crystals are used in all three directions of X, Y and Z. However, nonlinearity such as hysteresis and creeping of piezoelectric crystals can cause surface image distortion. In order to solve this problem, Nikon Corporation of Japan adopted the method of stringing capacitors to reduce the influence of nonlinearity.
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