【摘 要】
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本文提出了一种微波阻抗匹配的新方法,即由计算机控制的全自动化的微波阻抗匹配系统。此系统可随时对微波系统的动态负载(比如:等离子体负载)呈现的非线形变化提供快速,稳定,可重复
【机 构】
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电子科技大学自动化工程学院,西南民族大学电气信息工程学院
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本文提出了一种微波阻抗匹配的新方法,即由计算机控制的全自动化的微波阻抗匹配系统。此系统可随时对微波系统的动态负载(比如:等离子体负载)呈现的非线形变化提供快速,稳定,可重复的匹配,自动将反射系数保持到工程理想值(0、1),从而实现微波功率的最佳传输。
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