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介绍了评价热载流子注入效应的加速寿命试验,针对具体的工艺线,提取了MOS管加速寿命试验的模型参数,以阈值电压变化10 mV为失效判据,分别对0.8μm和0.6μm工艺线的热载流子注入效应进行了评价.整个测试过程由程序控制,设备精度高,使用简便,适用于亚微米和深亚微米工艺线的可靠性评价.
热载流子退化对MOS器件的影响
【摘 要】
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介绍了评价热载流子注入效应的加速寿命试验,针对具体的工艺线,提取了MOS管加速寿命试验的模型参数,以阈值电压变化10 mV为失效判据,分别对0.8μm和0.6μm工艺线的热载流子注
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2002年1期
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