化学气相沉积法制备ZnO纳米结构薄膜及其SERS活性研究

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化学气相沉积(CVD)是合成各种形态ZnO的最有效的方法之一.目前认为这种方法主要经历了气固过程或气液固过程,即蒸发源材料在升温过程中汽化,蒸汽在特定的温度、压力和原子气氛条件下沉积到基底上,得到了各种形貌的纳米粒子.
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