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采用有限状态机模型来仿真集成电路行业中光刻版图形的处理过程,涵括了层次处理、涨缩处理和反转处理.将不同的处理过程定义为相应的状态,将图形处理要求定义为输入条件触发状态转换.该模型已应用于光刻版数据处理的电子设计自动化软件.
光刻版图形处理过程的计算机仿真
【摘 要】
：
采用有限状态机模型来仿真集成电路行业中光刻版图形的处理过程,涵括了层次处理、涨缩处理和反转处理.将不同的处理过程定义为相应的状态,将图形处理要求定义为输入条件触发
【机 构】
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上海光刻电子科技有限公司,上海光刻电子科技有限公司,上海交通大学
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年11期
【基金项目】
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上海市科委光科技专项行动计划项目资助(022261050)
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