【摘 要】
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采用离面位移测量精度达到10nm～20nm的电子散斑干涉测量系统验证了双目视觉数字散斑相关测量系统的离面位移测量精度。分别用电子散斑干涉测量系统和双目视觉数字散斑相关测量
【机 构】
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南京化工职业技术学院机械技术系,奥克兰大学机械工程系,青岛理工大学
【基金项目】
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江苏高校高新技术产业发展项目(JH09-43);江苏省高校‘青蓝工程’资助;江苏省政府留学基金资助
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采用离面位移测量精度达到10nm～20nm的电子散斑干涉测量系统验证了双目视觉数字散斑相关测量系统的离面位移测量精度。分别用电子散斑干涉测量系统和双目视觉数字散斑相关测量系统同时测量了平板离面位移,并对所测量的位移最大值进行了分析处理及比较。结果表明,双目视觉数字散斑相关测量系统的物体离面位移分布云图与电子散斑干涉测量系统的结果基本相同,且两者位移均方根相差为2.76μm～3.56μm,相对误差为4.59%～7.60%。因此,当被测量物体的离面位移大于4μm时,双目视觉Q400测量系统精度可达到电子散斑干涉测量系统的精度。
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