阴极弧离子镀AlCrN涂层高温氧化后XPS分析

来源 :材料热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiexinhai
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采用阴极弧离子镀方法在Ti C基金属陶瓷刀具表面沉积了Al Cr N涂层,进行了900℃下2 h高温氧化试验。通过SEM、EDS、XRD、XPS等手段分析了Al Cr N涂层高温氧化前后表面形貌、元素组成、物相组成及元素结合能,并讨论了Al Cr N涂层高温氧化及失效机理。结果表明,氧化前Al Cr N涂层由Al N、Cr N和Cr2N物相组成,其中Cr N表现出(200)的择优取向,氧化后其物相转变为抗高温的Al2O3、Cr3O4和Ti4O3氧化物;氧化前Al Cr N涂层中Al和N以Al—N键、Cr和N以Cr—N键存在,氧化后Al与O以Al—O键、Cr与O以Cr—O键方式存在,在涂层-基体结合界面处形成了致密的扩散层。 Al Cr N coating was deposited on the surface of TiC-based cermet tool by cathodic arc ion plating method. The oxidation test at 900 ℃ for 2 h was carried out. The morphology, elemental composition, phase composition and elemental binding energy of Al Cr N coating before and after high temperature oxidation were analyzed by SEM, EDS, XRD and XPS. The mechanism of high temperature oxidation and failure of Al Cr N coating was also discussed. The results show that the pre-oxidation Al-Cr-N coating consists of AlN, CrN and Cr2N phases, of which CrN exhibits a preferred orientation of (200). After oxidation, its phase transitions to high temperature oxidation of Al2O3, Cr3O4 and Ti4O3 Al and N were Al-N bonds and Cr and N were Cr-N bonds in the pre-oxidation Al Cr N coating. After oxidation, Al and O were Al-O bonds and Cr and O were Cr-O bonds , A dense diffusion layer is formed at the coating-matrix bonding interface.
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