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用离子束溅射沉积的方法制备的TiO2、ZrO2薄膜的光吸收损耗明显降低,对其折射率、光吸收和抗激光损伤阈值等特性进行了分析.
氧化物薄膜的离子束溅射沉积
【摘 要】
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用离子束溅射沉积的方法制备的TiO2、ZrO2薄膜的光吸收损耗明显降低,对其折射率、光吸收和抗激光损伤阈值等特性进行了分析.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1992年12期
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