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基于晶圆制造系统的产品生产流程和运作模式，研究工序等待时间计算问题。分析了多等级订单运作环境下工序等待时间的影响因素；针对影响工序等待时间的主要因素，建立了面向设备负荷与能力因素以及面向批量因素的工序等待时间模型；在考虑晶圆制造系统生产特征的基础上，应用排队论求解模型。算例与仿真实验表明，模型具有较好的计算精度。