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论述了晶圆叠层3D封装中的典型工艺——晶圆键合技术，并从晶圆键合原理、工艺过程、键合方法、设备要求等方面对其进行了深入探讨；以期晶圆叠层3D封装能够应用到更加广泛的领域。
晶圆叠层3D封装中晶圆键合技术的应用
【摘 要】
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论述了晶圆叠层3D封装中的典型工艺——晶圆键合技术，并从晶圆键合原理、工艺过程、键合方法、设备要求等方面对其进行了深入探讨；以期晶圆叠层3D封装能够应用到更加广泛的领域
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年1期
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