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本文从LIGA工艺的工程应用角度,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求.
LIGA工艺在工程中的两类应用
【摘 要】
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本文从LIGA工艺的工程应用角度,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求.
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院,中国工程物理研究院电子工程研究所,中国科学院高能物理研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2002年10期
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