【摘 要】
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A new kind of SiOx filmon Al substrate,prepared by Ambient Pressure Chemical Vapor Deposition (APCVD) is reported in this paper. It is proposed that the SiOx pa
【机 构】
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MaterialScienceandEngineeringDepartment,SchoolofElectricat＆ElectronicEngineeringNanyangTechnotogical
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A new kind of SiOx filmon Al substrate,prepared by Ambient Pressure Chemical Vapor Deposition (APCVD) is reported in this paper. It is proposed that the SiOx particles as products of SiH4 and O2 reaction deposited on the heated Al surface, followed by clo
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