晶圆厂信息控制系统介绍

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ynhz009
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
信息控制系统(FICS)的集成是晶圆厂生产线集成的主要内容之一。介绍了65nm级别用于生产微处理器(Microprocessor)的300mmFAB的FICS架构实例,并就系统集成做了简单的描述,对制造执行系统MES和设备集成系统EI的客户化作了探讨,并介绍了EI部分的架构。
其他文献
医保基金收支平衡被专家比喻为制度生命的血压,形象而又深刻。保持基金收支平衡是政府和医保经办机构一以贯之的愿望。但是,受各种因素的影响,医保基金又不可能自然而然地实现收
本文依据新课程理念,对新课标下的语文作业形式作了如下的论述:“差异性作业的设计”、“实践性作业的设计”、“趣味性作业的设计”、“开放性作业的设计”、“研究性作业的设
随着时代的发展和社会的进步,现如今已经进入了互联网信息时代,在这个大时代背景下,知识更是成为了经济发展的支柱,在这个时候图书馆的建设情况也出了一定的变化,利用互联网
<正> "漢語的副詞跟形容詞很难分別,一則因为單詞的形式是一样的,二則因为意义上也很难指出一定的界限來。""如何規定副詞和形容詞的界限,至今还是語法上一个没有解决的問題
期刊
大多数学生在读图、用图的过程中,由于地图基础知识没有学好,往往碰到读图题不知所措,不能把图例信息转化为实际信息,即不能提取有效的信息。尤其是一些叠加图,像等高线地形图与河
【正】 辽宁大学校长冯玉忠在1月17日《人民日报》撰文说:观察形势要有四个标准:一是用生产力的标准看形势。这要有比较观。可以从我们每个人的“生活实践”中都能看得到、体
目的:探讨五味子甲素对低铅染毒大鼠睾丸谷胱甘肽等生化指标的影响,以探寻其对抗氧化作用的影响。方法:将18只健康SPF级SD雄性大鼠随机分作3组:空白对照组、醋酸铅组及醋酸铅
在教育工作中,坚持德育为先,以德育人是我国教育工作的优良传统。在完善和建立我国教育的法律、法规体系过程中,学校德育工作也纳入了法制化的轨道。学校德育的原则和地位、
基于中国综合社会调查数据(CFPS2016)对社会保障(社会保险、政府补助以及社会捐助)与居民贫困脆弱性间的联系进行探究,并在此基础上分析了社会保障对不同年龄段以及不同贫困
文章选择上证国有企业100指数非金融保险企业为对象,以26家使用衍生金融工具的公司为样本,研究2008年度衍生金融工具信息披露对准则的遵循度。结果发现:遵循度普遍较低。造成