【摘 要】
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聚酰胺酸N,N-二甲基十八铵盐LB膜具有严格排列的周期结构,其亚胺化可以在比聚酰胺酸更为温和的条件下进行。测定了沉积在单晶硅片上的聚酰亚胺涂膜的热分解性能。于真空和高温下聚酰
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聚酰胺酸N,N-二甲基十八铵盐LB膜具有严格排列的周期结构,其亚胺化可以在比聚酰胺酸更为温和的条件下进行。测定了沉积在单晶硅片上的聚酰亚胺涂膜的热分解性能。于真空和高温下聚酰亚胺LB膜会热解并与基片硅反应而生成规则结构的SiC准单晶膜。
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