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以某公司生产的半闭环控制的悬臂式水切割机床DWJ2030＿FB为分析对象，建立其简化数学模型，对影响机床运行性能的转动惯量比、反向间隙及传动机构刚性进行了仿真分析，同时利用安川SigmaWin＋软件和Renishaw激光干涉仪对分析结果进行了测试验证。仿真及试验结果表明：降低进给轴的转动惯量比有利于提高系统动态响应及稳定性，转动惯量比接近或小于1时为最佳；滚珠丝杠反向间隙是机床定位精度降低、产生轮廓误差的因素之一，采用激光干涉仪补偿可有效降低反向间隙的影响；传动机构刚性的增大有利于系统响应性、定位精度和稳