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本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方面颇具潜力.
新型SOG压阻式力敏传感器的研制
【摘 要】
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本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方
【机 构】
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东南大学电子工程系,中国无锡华晶集团公司
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1993年1期
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