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聚焦离子束纳米加工系统,具有传统加工工具无可比拟的优势而逐渐成为新一代微纳分析、加工的工具,在微纳米加工、操纵以及器件的研制等方面具有重要应用。本文介绍了聚焦离子束系统的内部结构和工作原理,探讨了该系统的扩展功能、应用及发展前景。
聚焦离子束系统原理、应用及进展
【摘 要】
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聚焦离子束纳米加工系统,具有传统加工工具无可比拟的优势而逐渐成为新一代微纳分析、加工的工具,在微纳米加工、操纵以及器件的研制等方面具有重要应用。本文介绍了聚焦离子
【机 构】
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北京航空航天大学理学院
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2008年03期
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