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采用磁控溅射法制备超薄BaTiO3铁电薄膜，分析了电子隧穿过程，将电流-电压曲线作不同线性拟合，探讨单极性开关和双极性开关形成的物理机制。结果表明Pt／BaTiO3／Pt隧道结中存在SCLC机制、Schottky发射、P—F发射三种物理机制。
超薄BaTiO3铁电薄膜隧穿机理研究
【摘 要】
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采用磁控溅射法制备超薄BaTiO3铁电薄膜，分析了电子隧穿过程，将电流-电压曲线作不同线性拟合，探讨单极性开关和双极性开关形成的物理机制。结果表明Pt／BaTiO3／Pt隧道结中存在SCLC
【机 构】
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湖北大学材料科学与工程学院,功能材料绿色制备与应用教育部重点实验室
【出 处】
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科技信息
【发表日期】
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2013年9期
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