基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:war_and
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为了提高灵敏度和消除交叉轴串扰,提出了一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器,分析了该结构差分检测和消除交叉轴干扰的原理.推导了该设计的理论模型,包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导,得到了待测加速度与输出固有频率偏移的关系.使用有限元模拟来证实理论模型.模拟结果说明,该设计的灵敏度每重力加速度g高于4kHz.探讨了具体结构参数的选取与输出频差的关系,说明通过调整微型杠杆的尺寸可以进一步提高本设计的灵敏度.
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