论文部分内容阅读
提出了一种可根本消除各种光场畸变的横向剪切数字全息方法，采用三幅物面相互存在微小平移的数字全息图，通过波前差分来消除照明光和参考光引入的相位畸变，用横向剪切波前重构算法恢复待测物面三维数据。设计了一个反射式实验检测光路，光路中人为引进未知的波前畸变对该算法进行了实验验证。结果表明，在没有对物面和CCD 记录面做严格方位校准，横向平移精度为0.01 mm，平移量为0.02 mm 的条件下，标准相位的均方根误差约为λ 14 ，分析了其误差来源，可用于超精密光学三维测量，有望减小光场畸变提高测量精度。