基于PMAC的磁悬浮微进给机构的控制

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rabeenzhu

【摘要】

：

针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦

【作者】

：

卢志山王延风何惠阳宋文荣张德龙

【机构】

：

中国科学院

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2004年z2期

【关键词】

：

磁悬浮微机给机构 PID控制 PMAC

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针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.通过PID特性分析并利用PMAC运动控制器设计了一套完整的控制系统,详细阐明了整个控制系统的结构与工作原理,通过试验曲线比较说明了该控制系统的准确性,更进一步的说明了磁悬浮微进给机构的合理性.

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