NEG—1型引出规的X射线限及其原位测定

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【摘要】

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本文对一种改进型引出规(NEG-1型)的X射线限及其原位测定方法作了讨论.用和普通B-A计的几何因子相比较的方法,对三种X射线源引起的X射线限的大小作了估算,其结果表明,电子打

【作者】

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唐政清

【出处】

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电子器件

【发表日期】

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1991年2期

【关键词】

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真空测量引出规 X射线原位测量

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本文对一种改进型引出规(NEG-1型)的X射线限及其原位测定方法作了讨论.用和普通B-A计的几何因子相比较的方法,对三种X射线源引起的X射线限的大小作了估算,其结果表明,电子打上反射产生的X射线所决定的X射线限是限制该引出规测量下限主要的原因.用深度调制法测得X射线限为～1.6×10~(-11)Pa(等效N_2压强),这与理论估算结果相吻合.

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