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采用热蒸发制备了非晶态Sb2Se3薄膜。系统地研究了真空热退火对Sb2Se3薄膜光学性质和微观结构的影响。
相变记录介质Sb2Se3薄膜的光学性质和微观结构
【摘 要】
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采用热蒸发制备了非晶态Sb2Se3薄膜。系统地研究了真空热退火对Sb2Se3薄膜光学性质和微观结构的影响。
【机 构】
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中国科学院上海光机所,上海201800
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1990年17期
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