【摘 要】
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采用射频磁控溅射技术首次在有机薄膜衬底上低温制备出具有低电阻率和良好附着性的Zn-Sn-O透明导电膜.研究了有机衬底和玻璃衬底Zn-Sn-O薄膜的结构、表面形貌和组分.制备薄膜
【机 构】
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莱阳农学院理学院,石油大学资源与信息学院
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采用射频磁控溅射技术首次在有机薄膜衬底上低温制备出具有低电阻率和良好附着性的Zn-Sn-O透明导电膜.研究了有机衬底和玻璃衬底Zn-Sn-O薄膜的结构、表面形貌和组分.制备薄膜为非晶结构,有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的最低电阻率和可见光平均透过率分别为1.3×10-2Ω·cm和82%.薄膜中的氧偏离理想化学配比,存在着较多的氧空位,氧空位是薄膜中载流子的主要来源.
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