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研究了在砷化镓上欧姆接触形成机理，并提出了一种新型的欧姆接触六层金属系统（Ni／Gre／Au,／Ge／Ni／Au）,在n型GaAs样品上实验了在380～460℃合金温度和50-120s合金时间下形成欧姆接触，在400℃、60s下典型的欧姆接触值为2．1×10^-7Ω·cm^2，同时合金后表面形貌光滑、平整。