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硒化铅光导型红外探测器的光刻技术
硒化铅光导型红外探测器的光刻技术
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iq106
【摘 要】
:
本文着重介绍硒介铅光导型红外探测器的光刻过程和工作原理。
【作 者】
:
程开富
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
硒化铅
光导型
红外探测器
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本文着重介绍硒介铅光导型红外探测器的光刻过程和工作原理。
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