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SI—GaAs单晶中深能级陷阱退火特性研究
SI—GaAs单晶中深能级陷阱退火特性研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hongnanjing
【摘 要】
:
研究了LEC-SI-GaAs单晶热处理前后深能级陷阱的变化,比较了原生晶体在不同条件的热退火后SI-GaAs单晶中深能级陷阱的特性,分析了产生变化的原因,并讨论了LEC-SI-GaAs中两个主
【作 者】
:
谢自力
【机 构】
:
南京电子器件研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2002年7期
【关键词】
:
深能级陷阱
退火特性
半绝缘砷化镓
热处理
光致电流瞬态谱
SI-GaAs
deep level trap
thermal annealing
PITS
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研究了LEC-SI-GaAs单晶热处理前后深能级陷阱的变化,比较了原生晶体在不同条件的热退火后SI-GaAs单晶中深能级陷阱的特性,分析了产生变化的原因,并讨论了LEC-SI-GaAs中两个主要深能级陷阱EL2和EL6的可能构型.
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