顶部线宽中曲线匹配法测量线宽的研究

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【摘要】

：

针对原子力显微镜（AFM）在测量线宽等具有陡直边墙的表面形貌时针尖轮廓对测量结果有很大影响的问题,在用AFM可以获取较准确的刻线单侧边墙和顶部线宽的情况下,依据数学形态学理

【作者】

：

肖增文赵学增储巍李洪波

【机构】

：

哈尔滨工业大学机电工程学院

【出处】

：

计量技术

【发表日期】

：

2006年6期

【关键词】

：

纳米线宽原子力显微镜配准数学形态学

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针对原子力显微镜（AFM）在测量线宽等具有陡直边墙的表面形貌时针尖轮廓对测量结果有很大影响的问题,在用AFM可以获取较准确的刻线单侧边墙和顶部线宽的情况下,依据数学形态学理论和图像配准技术,提出了从一面测量后旋转样品再从另一面测量,并基于刻线顶部线宽中曲线配准图像测量线宽的方法,仿真出了配准后的测量图像,给出了配准图像的线宽.

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