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随着集成电路中关键尺寸的不断减小，测量精度要求达到原子级才能保证器件的有效性，这给纳米线宽的精确测量带来了新的挑战。2018年第......
微结构光学是一门属于多门前沿学科交叉的新兴学科,正处在产生重要研究成果的前沿,极有可能引发新兴产业.随着微电子工艺技术的进......
针对原子力显微镜（AFM）在测量线宽等具有陡直边墙的表面形貌时针尖轮廓对测量结果有很大影响的问题,在用AFM可以获取较准确的刻线单......
针对NanoscopeⅢ型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析.提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结......
现在在半导体集成电路制造业中,晶体管的线宽尺寸已达到65nm与32nm,并正在向22nm甚至16nm尺寸迈进。当线宽单位缩小到10nm量级时,......
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