【摘 要】
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用白光干涉检测（WLI）法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法.该方法分别沿着每个微斜面法向进行自适应方向检测,评价分
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.51075156)
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用白光干涉检测（WLI）法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法.该方法分别沿着每个微斜面法向进行自适应方向检测,评价分析其面形、特征轮廓和特征点的加工精度.首先,采用# 3000金刚石砂轮微细尖端在Si表面加工出高度为50 μm、宽度为56 μm且光滑的微锥塔结构.然后,利用四次检测点云对微磨削表面进行拼接与重建.最后,分析面形误差、特征轮廓误差和特征点误差.实验显示：自适应方向WLI检测可以重构出完整的微锥塔结构表面,微磨削的面形误差为5.3 μm
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