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微磨削精度相关论文
微磨削锥塔结构光滑表面的自适应方向检测与微加工精度
用白光干涉检测(WLI)法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法.该方法分别沿......
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白光干涉术
自适应方向检测
微结构表面
微磨削精度
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