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本文讨论了大功率ＣＯ２激光器腔镜基片、膜料和膜系的选择，给出了常用膜料可构成的λ／４膜系反射率，指出了一种在输出镜上获得任意中间反射率的方法，介绍了膜层制作工艺。应用结果表明，以Ａｇ代Ａｕ的高反射膜系不仅有着优异的反射率，而且也具有良好的稳定性和牢固度；高反射的硅基尾镜和透射率匹配良好的输出镜能明显提高激光器的功率和效率。