【摘 要】
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为解决某传动装置可靠性及寿命问题，在旋转密封环基体表面沉积了一层二硫化钼固体润滑膜，探讨了基体材料预处理工艺和真空室预处理参数，以及沉积工艺参数对其表面二硫化钼镀膜性
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为解决某传动装置可靠性及寿命问题，在旋转密封环基体表面沉积了一层二硫化钼固体润滑膜，探讨了基体材料预处理工艺和真空室预处理参数，以及沉积工艺参数对其表面二硫化钼镀膜性能的影响，得到了最佳的二硫化钼膜制备工艺。结果表明，烘烤工艺参数为温度350℃，时间30min，真空度3．0×10^-2Pa；离子轰击工艺参数为氩气压强4．5Pa，负偏压1000V，时间20min；沉积工艺参数为负偏压200V，钼靶电流200A，混合气体分压1．5Pa时，获得的二硫化钼膜膜层致密，膜基结合强度高。台架试验表明，在旋转
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