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在结型半导体器件中,PN结的质量对器件特性影响很大。结深是检测PN结的重要参数之一。使用滚槽法,并用化学染色液显示PN结位置,是一种简单方便的方法。不同的染色液显现PN结形貌受到PN结固有性质、染色溶液的成分、染色时间等的影响。综合来看,铬酸染色液在实际中的应用效果较好。
关于半导体器件中PN结的染色
【摘 要】
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在结型半导体器件中,PN结的质量对器件特性影响很大。结深是检测PN结的重要参数之一。使用滚槽法,并用化学染色液显示PN结位置,是一种简单方便的方法。不同的染色液显现PN结
【机 构】
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西安卫光科技有限公司
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2015年22期
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