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本文介绍了高灵敏度，低价格薄膜ＩｎＳｂ（锑化铟）霍尔元件的原理，结构，制造工艺流程及其性能。
高灵敏度InSb霍尔元件
【摘 要】
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本文介绍了高灵敏度，低价格薄膜ＩｎＳｂ（锑化铟）霍尔元件的原理，结构，制造工艺流程及其性能。
【机 构】
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机械工业部沈阳仪器仪表工艺研究所沈阳110043高级工程师
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1994年2期
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